【仕様】
・サイズ（インチ）×伝導型：6×N型
・OF長さ（mm）×ウェハー厚(μm）：47.5±2.5×625±25
・製造方法：CZ法
・面方位：100
・OF位置：110
・抵抗値：0.1～100Ω・cm
・パーティクル：パーティクル不問
・入数：1枚
・特注対応品について
・①方位（切断角度）、OF位置角度公差、厚み公差を、より小さく高精度に加工することができ、エッチングでの正確な溝形成が可能となります。
・②多様な形状加工と表面処理が可能です（例：ざくり加工品、穴あけ加工品、酸化膜付きウェハー）。
・③ご希望の比抵抗率、ウェハー厚みに合わせた対応が可能です。
・④8インチ、12インチに関しては随時お問い合わせください。
・※本製品は半導体向けの結晶材を使用し製造加工しておりますが、材料純度に関する証明等に対応できるものではありません。
アズワン番号：2-960-10
・サイズ（インチ）×伝導型：6×N型
・OF長さ（mm）×ウェハー厚(μm）：47.5±2.5×625±25
・製造方法：CZ法
・面方位：100
・OF位置：110
・抵抗値：0.1～100Ω・cm
・パーティクル：パーティクル不問
・入数：1枚
・特注対応品について
・①方位（切断角度）、OF位置角度公差、厚み公差を、より小さく高精度に加工することができ、エッチングでの正確な溝形成が可能となります。
・②多様な形状加工と表面処理が可能です（例：ざくり加工品、穴あけ加工品、酸化膜付きウェハー）。
・③ご希望の比抵抗率、ウェハー厚みに合わせた対応が可能です。
・④8インチ、12インチに関しては随時お問い合わせください。
・※本製品は半導体向けの結晶材を使用し製造加工しておりますが、材料純度に関する証明等に対応できるものではありません。
アズワン番号：2-960-10