【特徴】
・ガス置換時に導入ガスの圧力と流量を調整し、ガスを確実に導入するフローコントローラです。
・3台までの同時コントロールが可能です。
・ガス置換時に導入ガスの圧力と流量を調整し、ガスを確実に導入するフローコントローラです。
・3台までの同時コントロールが可能です。
【仕様】
| 本体 | 型番 | FMC-1 |
| サイズ | 230×133×190mm | |
| 圧力調整バルブ | 対象ガス | Ar・N2・O2・CO2・He・Air・C2H2のうち1種類 |
| 1次圧力 | 約0.98MPa（10kg/cm2）MAX | |
| 流量 | 30L/min MAX | |
| 2次圧力 | 0～約0.49MPa（0～5kg/cm2） | |
| 接続チューブ外径 | φ6mm | |
| 流量計 | 流量 | 10L/min MAX |
| 耐圧 | 約0.69MPa（7kg/cm2） | |
| 耐熱 | 60℃ MAX | |
| 接続チューブ外径 | φ6mm | |
| ハウジング | PMMA（アクリル） |
アズワン番号：1-3167-01