【特徴】
・1台のストッカーをガス置換するためのユニットで、供給ガスの流量調節ができます。
・ガス置換による環境を安定させ、安全にガス置換を行えます。
【仕様】
呼称:タイプI
・耐圧:0.1kPa
サンプラテックコード:05074
・1台のストッカーをガス置換するためのユニットで、供給ガスの流量調節ができます。
・ガス置換による環境を安定させ、安全にガス置換を行えます。
【仕様】
呼称:タイプI
・耐圧:0.1kPa
サンプラテックコード:05074