【特徴】
・グリーンシート、ポリイミドフィルム、軽軟材、薄物材などの吸着に適した多孔質セラミックス吸着テーブルです。
・着面を前面覆わない部分的な吸着を、マスキングなしで吸着できます。
・剛性の低い極薄（板厚数μm）を変形せずに吸着可能です。
※ご使用の際は別途、真空ポンプを用意ください。
【仕様】
・型番：CAT1518SM
・サイズ：180×180×15mm
・平面度：15
・平均気孔径：2μm
・材質：
上面 アルミナ系セラミックス
ベース ステンレス（SUS303）
・平均気孔率：30～35％
アズワン番号：3-8147-03
・グリーンシート、ポリイミドフィルム、軽軟材、薄物材などの吸着に適した多孔質セラミックス吸着テーブルです。
・着面を前面覆わない部分的な吸着を、マスキングなしで吸着できます。
・剛性の低い極薄（板厚数μm）を変形せずに吸着可能です。
※ご使用の際は別途、真空ポンプを用意ください。
【仕様】
・型番：CAT1518SM
・サイズ：180×180×15mm
・平面度：15
・平均気孔径：2μm
・材質：
上面 アルミナ系セラミックス
ベース ステンレス（SUS303）
・平均気孔率：30～35％
アズワン番号：3-8147-03