セラミック吸着テーブル 平面度15 平均気孔径2μm 230x230x15mm CAT2023SM 3-8147-04

ナベヤ

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【特徴】
・グリーンシート、ポリイミドフィルム、軽軟材、薄物材などの吸着に適した多孔質セラミックス吸着テーブルです。
・着面を前面覆わない部分的な吸着を、マスキングなしで吸着できます。
・剛性の低い極薄(板厚数μm)を変形せずに吸着可能です。
※ご使用の際は別途、真空ポンプを用意ください。
【仕様】

・型番:CAT2023SM
・サイズ:230×230×15mm
・平面度:15
・平均気孔径:2μm
・材質:
 上面 アルミナ系セラミックス
 ベース ステンレス(SUS303)
・平均気孔率:30~35%


アズワン番号:3-8147-04

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