【特徴】
・熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。
・スタート時のフローサージ現象を抑制します。
【仕様】
・型番：C1005
・フルスケール流量-ガス種：10SCCM-H2
・ガス種類：H2
・流量精度：±2％FS（精度保証範囲15～35℃）
・応答性：6sec
・流量制御範囲：5～100％FS
・入出力：アナログ信号（0～5VDC）
・バルブ形式：N/Oノーマルオープン
・再現性：±0.2％FS
・動作圧力範囲：50～300kPa
・耐圧：1MPa（G）
・外部リークレート：1×10-7Pa･m3/sec（He）以下
・接ガス部材質：SUS316、PTFE、フッ素ゴム
・接続：1/4in.SWL相当
・電源：＋15VDC±5％ 60mA、－15VDC±5％ 150mA
・通信方式：アナログ0～5VDC（D-Sub9Pinコネクタ）
・サイズ：127×25.5×100mm
アズワン番号：3-5064-05
・熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。
・スタート時のフローサージ現象を抑制します。
【仕様】
・型番：C1005
・フルスケール流量-ガス種：10SCCM-H2
・ガス種類：H2
・流量精度：±2％FS（精度保証範囲15～35℃）
・応答性：6sec
・流量制御範囲：5～100％FS
・入出力：アナログ信号（0～5VDC）
・バルブ形式：N/Oノーマルオープン
・再現性：±0.2％FS
・動作圧力範囲：50～300kPa
・耐圧：1MPa（G）
・外部リークレート：1×10-7Pa･m3/sec（He）以下
・接ガス部材質：SUS316、PTFE、フッ素ゴム
・接続：1/4in.SWL相当
・電源：＋15VDC±5％ 60mA、－15VDC±5％ 150mA
・通信方式：アナログ0～5VDC（D-Sub9Pinコネクタ）
・サイズ：127×25.5×100mm
アズワン番号：3-5064-05