【特徴】
・コンパクトマスフローデバイス。ローコストながら高精度計測。
・高速応答で優れたゼロ点安定性。
・電源コネクタには汎用性の高いD-sub9ピンコネクタを採用。
・ロータリースイッチを切り替えることで、本体に登録されているガス種が使用可能(流量はN2ガスとの比による計算値)。
・RS485通信機能を標準装備。
【仕様】
三商コード:65-0841
・コンパクトマスフローデバイス。ローコストながら高精度計測。
・高速応答で優れたゼロ点安定性。
・電源コネクタには汎用性の高いD-sub9ピンコネクタを採用。
・ロータリースイッチを切り替えることで、本体に登録されているガス種が使用可能(流量はN2ガスとの比による計算値)。
・RS485通信機能を標準装備。
【仕様】
型式 | EX-250SC? |
対象ガス | N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2(記載のないガスはN2換算) |
流量レンジ | 10SCCM~5SLM |
制御範囲 | 2~100%F.S. |
精度 | ±1.0%F.S. |
動作差圧 | 50~300kPa(Ar、CO2:100~300kPa) |
耐圧 | 980kPa |
接ガス部材質 | SUS316、SUS316L、磁性ステンレス、PTFE、FKE |
流量設定入力信号 | 0~5VDC(入力インピーダンス約1MΩ)または4~20mA(入力インピーダンス約250Ω) |
流量出力信号 | 0~5VDC(負荷抵抗10kΩ以上)または4~20mA(負荷抵抗500Ω以下) |
デジタル通信 | RS485 ロータリースイッチによるアドレス設定 |
電源 | +15VDC(±5%)100mA以下、-15VDC(±5%)150mA以下または+24VDC(±10%)180mA以下 |
継手 | 1/4F900(標準) |
外寸法・重量 | W76×D30×H76mm・約500g |
三商コード:65-0841