【特徴】
・コンパクトマスフローデバイス。ローコストながら高精度計測。
・高速応答で優れたゼロ点安定性。
・電源コネクタには汎用性の高いD-sub9ピンコネクタを採用。
・ロータリースイッチを切り替えることで、本体に登録されているガス種が使用可能（流量はN2ガスとの比による計算値）。
・RS485通信機能を標準装備。
【仕様】
三商コード：65-0842
・コンパクトマスフローデバイス。ローコストながら高精度計測。
・高速応答で優れたゼロ点安定性。
・電源コネクタには汎用性の高いD-sub9ピンコネクタを採用。
・ロータリースイッチを切り替えることで、本体に登録されているガス種が使用可能（流量はN2ガスとの比による計算値）。
・RS485通信機能を標準装備。
【仕様】
| 型式 | EX-250SM? |
| 対象ガス | N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2（記載のないガスはN2換算） |
| 流量レンジ | 10SCCM～5SLM |
| 制御範囲 | 2～100％F.S. |
| 精度 | ±1.0％F.S. |
| 耐圧 | 980kPa |
| 接ガス部材質 | SUS316、SUS316L、PTFE、FKE |
| 流量出力信号 | 0～5VDC（負荷抵抗10kΩ以上）または4～20mA（負荷抵抗500Ω以下） |
| デジタル通信 | RS485 ロータリースイッチによるアドレス設定 |
| 電源 | +15VDC（±5％）100mA以下、－15VDC（±5％）150mA以下または +24VDC（±10％）180mA以下（EX-250SMは全て100mA以下となります） |
| 継手 | 1/4F900（標準） |
| 外寸法・重量 | W76×D30×H76mm・約440g |
三商コード：65-0842