ターボ分子ポンプ排気装置 VPT-060 3-5267-01

アルバック

販売価格 ¥841,500 通常価格 ~~¥935,000~~

【税込】

【特徴】
・ベース架台内に必要機器をコンパクトに構成しており、クリーンな真空環境に適しています。

【仕様】
・型番：VPT-060
・サイズ(mm)：340×340×355
・重量(kg)：17
・到達圧力：10^-5Pa台
・メインポンプ：ターボ分子ポンプ(空冷式)　60L/sec
・補助ポンプ：ダイアフラム型ドライ真空ポンプ 20L/min
・所要電気量：単相100V 0.3kVA
・吸気口：ISO63

アズワン番号：3-5267-01