【仕様】
・マイクロパイプ数:15個/cm2以下(ダミーグレード)
・入数:1枚
・厚さ:330±25um
・オフ角度:(0001)面に対し4度OFF
・比抵抗:0.015~0.028Ω.cm
・4インチ
・その他:1次オリフラ&2次オリフラ有り、Si面CMP仕上げ、C面Polish仕上げ
アズワン番号:4-1319-05
・マイクロパイプ数:15個/cm2以下(ダミーグレード)
・入数:1枚
・厚さ:330±25um
・オフ角度:(0001)面に対し4度OFF
・比抵抗:0.015~0.028Ω.cm
・4インチ
・その他:1次オリフラ&2次オリフラ有り、Si面CMP仕上げ、C面Polish仕上げ
アズワン番号:4-1319-05