【特徴】
・微小領域での物性、結晶性および不純物、欠陥評価
・表面化にある構造の深さ方向測定
・ワイドギャップ材料の評価
・複合評価（EDX、EBICなど）
・主なアプリケーション材料：半導体、化合物半導体、酸化物、蛍光体、鉱物など
i-CLUE
プラグアンドプレイのCLイメージングモジュールの特長
・F-CLUE へのアップグレード(分光機能の追加)が可能
・PMT検出（200~900nm）による超小型パンクロマティックCL検出
・精密な位置決め調整が可能な手動による位置調整機構
・電子顕微鏡のソフトウェア上に画像を表示
・コントラスト、明るさ、ゲイン、逆信号、高電圧用のリモートコントロール
F-CLUE
ファイバ結合型CLアドオン検出器の特長：
・超小型マルチ検出器CLイメージングおよび分光器
・iHR320: 1入力2出力ポート、7 mmスリット
・PMT 185-900 nm、内蔵HV、CLLinkコントローラ
・電子冷却CCDオープン電極200-1100nm
・LabSpec 6ソフトウェアによる制御
・精密な位置決め調整が可能な手動による位置調整機構
・コントラスト、明るさ、ゲイン、逆信号、高電圧用のリモートコントロール
H-CLUE
直接結合された高感度CLアドオン検出器の特長:
・広いスペクトル範囲マルチ検出器CLイメージングおよび分光器
・iHR320: 1入力2出力ポート、7 mmスリット
・PMT 185-900 nm、内蔵HV、CLLinkコントローラ
・電子冷却CCDオープン電極200-1100nm
・LabSpec 6ソフトウェアによる制御
・精密な位置決め調整が可能な電動退避式位置調整機構
・コントラスト、明るさ、ゲイン、逆信号、高電圧用のリモートコントロール
・角度分解CL、時間分解CL、偏光...
R-CLUE
ファイバ結合多機能SEM-Raman-PL-CLアドオン検出器の特長:
・既設のラマン顕微鏡をアップグレード可能
・走査型電子顕微鏡イメージング＆分光法用のマルチレーザーおよびマルチ検出器ラマン、PLおよびCLアドオン
・様々な焦点距離分光計
・電子冷却CCDオープン電極200-1100nm
・LabSpec 6ソフトウェアによる制御
・精密な位置決め調整が可能な電動退避式位置調整機構
・コントラスト、明るさ、ゲイン、逆信号、高電圧用のリモートコントロール
【仕様】
・レーザ/分光器/検出器/光学系/測定部/制御部で構成
・波長範囲：200～2700nm
・分光器：140～1250mm
・マクロ測定/顕微鏡測定対応
・極低温測定対応