【概要】
Thermo Scientific ESCALAB XI+ イメージング XPS マイクロプローブの優れた分析性能とフレキシビリティーをご体感ください。
このシステムは、高い感度と高分解能定量イメージングおよびマルチテクニック性能を兼ね備えており、質の高いサーベイスキャンを数秒で行います
【特徴】
Thermo Scientific シータプローブ同時角度分解型 X 線光電子分光システムを使用することで、サンプルを傾けることなく角度分解スペクトルを収集して、極表面層の非破壊深さ方向分析ができます。
最新の材料分野では、固体表面の状況が材料物性に多大な影響をおよぼします。
自己組織化単分子膜、表面修飾ポリマー、半導体デバイスを含むこれらのタイプの素材では、最表面数ナノメートルの組成を確実に把握しておく必要があります。
シータプローブ同時角度分解型 X 線光電子分光システムでは、同時角度分解 XPS (PARXPS)、および Avantage データシステムの高度なソフトウェアを使用して、正確かつ高精度の解析結果を得ることができます。
●シータプローブ同時角度分解型 X 線光電子分光システムの機能:
- 特許取得済みの技術により、60°の角度範囲の角度分解 XPS スペクトルを同時に収集する独自の機能が提供されます
- X 線モノクロメーターは、15 ～ 400μm の範囲のユーザーが選択可能です
- システムでは大型または複数のサンプルを処理できます
- CCD サンプルアライメント観察系は、サンプル表面に垂直です
●レンズ、アナライザー、および検出器
- ラディアンインプットレンズでは、見込み角が大きい (60°) 静電レンズによって光電子が収集されます
- 大きな取り込み角度によって感度が最大限に高まり、PARXPS 測定で大きな角度範囲を収集できます
- レンズ軸はサンプルの放線方向から 50° なので、20 ～ 80° (サンプルの正規角度に対して) の電子が収集されます
- 180° 半球型アナライザーには、出力面に二次元の検出器が取り付けられています
- 二次元検出器は、マルチチャネル検出: 最大 112 のエネルギーチャネルおよび最大 96 の角度チャネルを有します
- レンズは、二つのモード:スタンダートモードまたは角度分解モードで動作できます
●X 線源
- マイクロフォーカスモノクロメーターを搭載されています
- X 線スポットサイズは 15 ～ 400μm です
●デプスプロファイリング
- デジタル制御 EX05 イオン銃を使用すると、低エネルギーイオンの使用時にもデプスプロファイル測定が可能です
- デプスプロファイルにサンプル面内回転を使用できます
●試料ハンドリング
- 完全電動ステージは五軸の移動が可能です
- ステージは大型サンプルに対応しています － X と Y の移動範囲は 70 mm でZ (高さ25 mm) です
●真空システム
- 5 mm 厚のミューメタル製分析チャンバーにより、高い磁気シールド性を有しています
- 内側または外側のシールドを使用する方法に比べ、より効果的です
●Avantage データシステム
- 装置制御、データ収集、データ処理、レポート作成など、分析のすべての側面を統合します
- リモートコントロールが可能で、Microsoft Word などのサードパーティソフトウェアと容易に連動できます
- サンプルからレポートまでの総合分析プロセスを管理します