【概要】
Thermo Scientific ESCALAB XI+ イメージング XPS マイクロプローブの優れた分析性能とフレキシビリティーをご体感ください。
このシステムは、高い感度と高分解能定量イメージングおよびマルチテクニック性能を兼ね備えており、質の高いサーベイスキャンを数秒で行います
【特徴】
高感度と高分解能定量イメージングおよびマルチテクニック対応とを兼ね備えた Thermo Scientific ESCALAB 250Xi イメージング XPS マイクロプローブを使用することで、高い分析性能および柔軟性に対する要求を満たすことができます。
最適な XPS 性能を提供するように設計されたマイクロフォーカス 型モノクロメーター X 線源を備えた ESCALAB 250Xi イメージング XPS マイクロプローブは、最大限のサンプルスループットを保証します。マルチテクニック対応の幅広い前処理チャンバーおよび各種オプションにより、さまざまな表面分析のソリューションを提供します。
Avantage データシステムを使用することにより、分析データから最大限の情報を確実に得ることができます。
●ESCALAB 250Xi イメージング XPS マイクロプローブの特徴
- 高感度測定
- 微小領域 XPS
- デプスプロファイリング機能
- 角度分解 XPS
- イオン散乱分光法 (ISS) 標準
- 反射電子エネルギー損失分光分析法 (REELS) 標準
- 予備処理 チャンバーを標準装備
- マルチテクニック分析汎用性
- 多数の試料前処理オプション
- 自動、無人分析
- 複数試料の分析
●X 線モノクロメーター
- ツインクリスタル、マイクロフォーカス型モノクロメーターは、500mm のローランド円で、Al アノードを使用
- X 線スポットサイズは 200 ～ 900μm の範囲から選択可能
●レンズ、アナライザー、および検出器
- ESCALAB 250Xi イメージング XPS マイクロプローブは、レンズ/アナライザー/検出器の組み合わせにより、イメージングと微小領域 XPS の両方に使用できます
- 二種類の検出器があるので、分析のタイプに合わせて最適な検出が保証されます XPSイメージング用には二次元検出器、また高い感度で検出される測定にはチャネル検出器を使用します
- レンズにはコンピュータ制御されたスリットが二つ装備されています 一つは、微小領域分析の際にレンズの視野を 最小 20 m まで制御でき、もう一つはレンズの見込み角度の範囲を制御するもので、高品質の角度分解 XPS に必須の機能です
- 180° 半球型エネルギーアナライザー
●デプスプロファイリング
- デジタル制御 EX06 イオン銃は、低エネルギーのイオンを使用した場合でも高性能のイオン源です
- 試料の面内回転を使用できます
- マルチテクニック対応
- XPS 性能を損ねることなく、他の分析技術に対応しています
- レンズと分析装置の極性は反転可能で、EX06 イオン銃により、ISS (イオン散乱分光法) を常に使用できます
- 電子銃は 1000V まで操作可能で、REELS に対して優れた電子源です
●技術オプション
- 非モノクロ X 線 XPS
- AES (オージェ電子分光法)
- UPS (紫外光電子分光法)
●真空システム
- 5mm 厚のミューメタル分析チャンバーにより、磁気シールドの効率性が最大限に高まります
- 内側または外側のシールドを使用するシールド方法に比べ、より効果的です
●サンプル前処理
- エントリーロックと前処理チャンバーは、基本システムの一部です
- 追加の前処理チャンバーを使用できます
●Avantage データシステム
- 装置制御、データ収集、データ処理、レポート作成など、分析のすべての側面を統合します
- リモートコントロールが可能で、Microsoft Word などのサードパーティソフトウェアと容易に連動できます
- サンプルからレポートまでの総合分析プロセスを管理します