【特徴】
・内槽を全周シール加工した高気密性と耐熱HEPAフィルターの採用で、温度安定時の槽内をクラス100（ISO：クラス5）の環境下に維持可能。良好な清浄度と雰囲気を保持します。
・半導体ウェーハ、ガラス基板のベーキングなど高精度処理が要求される用途に最適。
・不活性ガスを導入するためのオプションもご用意しています。
【仕様】
三商コード：46-1453
・内槽を全周シール加工した高気密性と耐熱HEPAフィルターの採用で、温度安定時の槽内をクラス100（ISO：クラス5）の環境下に維持可能。良好な清浄度と雰囲気を保持します。
・半導体ウェーハ、ガラス基板のベーキングなど高精度処理が要求される用途に最適。
・不活性ガスを導入するためのオプションもご用意しています。
【仕様】
| 型式 | CLO-21C |
| 方式 | 前面吹出し型強制循環 |
| 最高使用温度 | 200℃ |
| 常用使用温度範囲 | （室温＋60）～200℃ |
| 温度分布精度 | ±4℃（at200℃） |
| 最高温度到達時間 | 60分以内 室温＋60→200℃ |
| ヒータ | シーズヒータ |
| ヒータ容量 | 4.8kW |
| 排気口 | 1/2Bボールバルブ止め |
| 内寸法 | W660×D500×H660mm |
| 容量 | 218L |
| 外寸法 | W860×D1010×H1470mm |
| 重量 | 約300kg |
| 電源 | 三相200V 50/60Hz 20A |
| 付属品 | 棚板2枚（棚受け付） |
三商コード：46-1453