【特徴】
・耐熱高性能フィルターと冷却器の組合せにより、温度安定時の槽内をクラス100（ISO：クラス5）の環境下に維持、かつ、高温でのクリーン加熱が可能です。
・ドアシール部（発泡シリコン）の熱影響低減のために水冷式を採用。高い気密性を実現しました。
・ガス導入管を標準装備しており、不活性ガスを導入することで低酸素濃度雰囲気での処理も可能。
・冷却機構を標準装備とし、冷却時間の短縮ができます。
・半導体ウェーハ、ガラス基板のベーキングなど高精度処理が要求される用途に最適。
【仕様】
三商コード：46-1455
・耐熱高性能フィルターと冷却器の組合せにより、温度安定時の槽内をクラス100（ISO：クラス5）の環境下に維持、かつ、高温でのクリーン加熱が可能です。
・ドアシール部（発泡シリコン）の熱影響低減のために水冷式を採用。高い気密性を実現しました。
・ガス導入管を標準装備しており、不活性ガスを導入することで低酸素濃度雰囲気での処理も可能。
・冷却機構を標準装備とし、冷却時間の短縮ができます。
・半導体ウェーハ、ガラス基板のベーキングなど高精度処理が要求される用途に最適。
【仕様】
| 型式 | CLH-21CD（Ⅲ） |
| 方式 | 強制送風循環（サイドフロー） |
| 最高使用温度 | 450℃ |
| 常用使用温度範囲 | （室温＋70）～450℃ |
| 温度分布精度 | ±5℃（at450℃） |
| 最高温度到達時間 | 80分以内 室温＋70→450℃ |
| ヒータ | シーズヒータ |
| ヒータ容量 | 33.6kW |
| 到達酸素濃度 | 20ppm以下 到達時間：45分以内（N2 250L/min導入） |
| 排気口 | 1Bボールバルブ止め |
| ガス（N2） | 取り口サイズ：3/8Bボールバルブ止め、供給圧力：0.4～0.6Mpa、MAX流量：250L/min |
| 給水炉体用 | 取り口サイズ：3/8Bボールバルブ止め、供給圧/差圧：MAX0.35Mpa/MIN0.1Mpa、MIN流量：2L/min |
| 給水冷却器用 | 取り口サイズ：1/2Bボールバルブ止め、供給圧/差圧：MAX0.35Mpa/MIN0.1Mpa、MIN流量：15L/min |
| 内寸法 | W670×D500×H700mm |
| 容量 | 235L |
| 外寸法 | W1285×D1605×H2020mm |
| 重量 | 約1050kg |
| 電源 | 三相200V 50/60Hz 150A |
| 付属品 | 棚板2枚（棚受け付）、温度記録計 |
三商コード：46-1455