【特徴】
・一度に大量の小口径ウェハーを効率的に洗浄可能です。
・小口径ウェハーの洗浄・乾燥用途に適しています。
・ビーカー等の容器で簡単に洗浄できる円盤形状です。
【仕様】
・材質:PFA(フッ素樹脂)
・適用ウェハー径(φmm):20~27
・収納数:24枚
・溝ピッチ:15°
・サイズ(mm):φ86×21
・型番:小
アズワン番号:2-067-01
・一度に大量の小口径ウェハーを効率的に洗浄可能です。
・小口径ウェハーの洗浄・乾燥用途に適しています。
・ビーカー等の容器で簡単に洗浄できる円盤形状です。
【仕様】
・材質:PFA(フッ素樹脂)
・適用ウェハー径(φmm):20~27
・収納数:24枚
・溝ピッチ:15°
・サイズ(mm):φ86×21
・型番:小
アズワン番号:2-067-01