ウェハホットチャック Φ6 金メッキ PH201K-06 4-1528-04

【特徴】
・ウエハ、ガラス基板など極薄のワークを均一に加熱します。
・ワークは真空吸着により固定できます。
・付属の温度調節器で精密温度制御が可能です。
・【仕様】
・プレートサイズ：Φ6インチ
・表面処理：金メッキ
・＜ホットチャック部＞
・チャック可能サイズ：Φ2～6インチ
・温度制御範囲：室温～200℃
・温度精度：±1.5％
・電気容量：900W
・サイズ：200×234×54mm
・重量：約3kg
・＜温度調節器＞
・電源：AC100V　50/60Hz
・サイズ：98×156×101mm
・重量：約1.3kg
・※別途真空ポンプが必要です（推奨ポンプ例：1-9197-02　ダイアフラム型ドライ真空ポンプ　DAP-12S）。
　アズワン番号：4-1528-04