【特徴】
・極小サイズの真空内測定シールです。
・水・ガス・薬品などの影響を受けずに温度測定ができます。
・ラベルの端から示温素子まで1mmなので、ウェハ・エッジの温度を測ることができます。
・裏面印刷なので真空中での印刷インク飛散を防ぎ、アウトガスを抑えます。
・プラズマ雰囲気対策としてカプトンフィルムでカバーされています。
【仕様】
・表示：3点表示
・精度：±1%（100℃以下±1℃）
・反応速度：1秒（水中、緩やかな熱勾配）
・サイズ：8mm×3mm
・示温サイズ：φ1.5mm
・温度組合せ（℃）：40-43-46
・入数：1ケース（10枚入）
・不可逆性
アズワン番号：2-9893-01
・極小サイズの真空内測定シールです。
・水・ガス・薬品などの影響を受けずに温度測定ができます。
・ラベルの端から示温素子まで1mmなので、ウェハ・エッジの温度を測ることができます。
・裏面印刷なので真空中での印刷インク飛散を防ぎ、アウトガスを抑えます。
・プラズマ雰囲気対策としてカプトンフィルムでカバーされています。
【仕様】
・表示：3点表示
・精度：±1%（100℃以下±1℃）
・反応速度：1秒（水中、緩やかな熱勾配）
・サイズ：8mm×3mm
・示温サイズ：φ1.5mm
・温度組合せ（℃）：40-43-46
・入数：1ケース（10枚入）
・不可逆性
アズワン番号：2-9893-01