【特長】
●ガスバラストバルブ、強制給油機構、油の逆流防止機構を装備しています。
●ガスバラストバルブにより、吸引する気体中の水分などを除去し、ポンプ油中に溶解することを防ぎます。
●Gシリーズの性能をさらに追求し、静音性、安全性、機能性を高めた上級機種です。
●小型なので省スペースで大丈夫です。
●低騒音、低振動かつ低消費電力です。
【注意】
●高真空領域(10-2Pa台)の能力がありますので、継ぎ手、容器などは高真空で十分に使用可能なものをお使いください。
【用途】
●理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。
●真空排気装置、電子顕微鏡のバック。
●半導体製造装置、スパッタ装置、真空蒸着装置。
●真空乾燥器、凍結乾燥器。
【仕様】
●排気速度(L/min)50/60Hz：50/60
●到達圧力(Pa)：0.67
●電源(V)：単相100
●全幅(mm)：165.5
●全長(mm)：395
●全高(mm)：222.5
●使用油：SMR－100
●吸気口径：KF-25
●電源コード長さ（m）：2.0
●一台から異電圧に別作対応
●ガスバラストバルブ、強制給油機構、油の逆流防止機構を装備しています。
●ガスバラストバルブにより、吸引する気体中の水分などを除去し、ポンプ油中に溶解することを防ぎます。
●Gシリーズの性能をさらに追求し、静音性、安全性、機能性を高めた上級機種です。
●小型なので省スペースで大丈夫です。
●低騒音、低振動かつ低消費電力です。
【注意】
●高真空領域(10-2Pa台)の能力がありますので、継ぎ手、容器などは高真空で十分に使用可能なものをお使いください。
【用途】
●理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。
●真空排気装置、電子顕微鏡のバック。
●半導体製造装置、スパッタ装置、真空蒸着装置。
●真空乾燥器、凍結乾燥器。
【仕様】
●排気速度(L/min)50/60Hz：50/60
●到達圧力(Pa)：0.67
●電源(V)：単相100
●全幅(mm)：165.5
●全長(mm)：395
●全高(mm)：222.5
●使用油：SMR－100
●吸気口径：KF-25
●電源コード長さ（m）：2.0
●一台から異電圧に別作対応