【特徴】
●ガスに合わせてセンサユニットが交換でき、1台で様々な半導体材料ガスを検知可能です。
●カセット式センサユニットなのでガス検知器の校正が不要、メンテナンスの時間とコストを削減できます。
●重さわずか1.3kgの小型軽量タイプです。
●ガス濃度の変化により、警報音(断続音)のスピードが徐々に変化し高濃度になると連続音でお知らせするのでガス漏れ箇所の特定が容易です。
【用途】
●半導体工場など毒性ガスを使用する現場で、ガス漏洩検査や濃度測定に。
【注意】
●使用には別途センサユニットが必要です。
【仕様】
●幅(mm)：62
●奥行(mm)：128
●高さ(mm)：150
●アンモニア：FS/100ppm
●シラン：FS/25ppm
●ジクロルシラン：FS/25ppm
●アルシン：FS/250ppb
●ホスフィン：FS/1.0ppm
●ジボラン：FS/500ppb
●セレン化水素：FS/250ppb
●ゲルマン：FS/1.0 ppm
●塩素：FS/5ppm
●三フッ化塩素：FS/1.0ppm
●塩化水素：FS/25ppm
●フッ化水素：FS/10ppm
●臭化水素：FS/10ppm
●一酸化窒素：FS/100ppm
●硫化水素：FS/50ppm
●一酸化炭素：FS/250ppm
●ガス採気方式：自動吸引式
●ジシラン：FS/25p
●セット内容：
●ショルダーベルト
●単3形アルカリ乾電池4本
●フィルタエレメント2枚
●ガスに合わせてセンサユニットが交換でき、1台で様々な半導体材料ガスを検知可能です。
●カセット式センサユニットなのでガス検知器の校正が不要、メンテナンスの時間とコストを削減できます。
●重さわずか1.3kgの小型軽量タイプです。
●ガス濃度の変化により、警報音(断続音)のスピードが徐々に変化し高濃度になると連続音でお知らせするのでガス漏れ箇所の特定が容易です。
【用途】
●半導体工場など毒性ガスを使用する現場で、ガス漏洩検査や濃度測定に。
【注意】
●使用には別途センサユニットが必要です。
【仕様】
●幅(mm)：62
●奥行(mm)：128
●高さ(mm)：150
●アンモニア：FS/100ppm
●シラン：FS/25ppm
●ジクロルシラン：FS/25ppm
●アルシン：FS/250ppb
●ホスフィン：FS/1.0ppm
●ジボラン：FS/500ppb
●セレン化水素：FS/250ppb
●ゲルマン：FS/1.0 ppm
●塩素：FS/5ppm
●三フッ化塩素：FS/1.0ppm
●塩化水素：FS/25ppm
●フッ化水素：FS/10ppm
●臭化水素：FS/10ppm
●一酸化窒素：FS/100ppm
●硫化水素：FS/50ppm
●一酸化炭素：FS/250ppm
●ガス採気方式：自動吸引式
●ジシラン：FS/25p
●セット内容：
●ショルダーベルト
●単3形アルカリ乾電池4本
●フィルタエレメント2枚