
【特徴】
・面状エッチングヒーターを採用しているため温度分布精度に優れています。
・2段表示で設定温度と現在温度がひと目で判断できます。
・3パターンのタイマー設定が可能です。
・ウエハーのCVDテストに適した正方形です。
・高速な昇温速度です(周囲温度25℃時:200℃/15分、300℃/20分、400℃/40分)。
【仕様】
アズワン番号:1-3069-31,1-3069-32,1-4469-01,1-4469-02
・面状エッチングヒーターを採用しているため温度分布精度に優れています。
・2段表示で設定温度と現在温度がひと目で判断できます。
・3パターンのタイマー設定が可能です。
・ウエハーのCVDテストに適した正方形です。
・高速な昇温速度です(周囲温度25℃時:200℃/15分、300℃/20分、400℃/40分)。
【仕様】
型番 | HHP-411V | HHP-4030 | HHP-230SQ | HHP-330SQ |
設定温度 | 40~400℃ | |||
温度分布精度 | ±1℃ | |||
昇温速度 (周囲温度25℃時) |
200℃:6分 300℃:15分 400℃:35分 |
200℃:15分 300℃:20分 400℃:40分 |
||
温度センサー | K熱電対 | |||
タイマー機能 | 指定時間後スタート 指定時間後ストップ 指定温度到達時スタート |
|||
天板材質 | アルミニウム(表面硫酸アルマイト処理) | |||
本体サイズ | 330×305×80mm | 480×460×90mm | 310×390×90mm | 410×490×90mm |
電源コード長 | 2m(3Pプラグ) | |||
消費電力 | 800W | 3500W | 1400W | 3200W |
電源 | 6kg | 15kg | 8kg | 14kg |
アズワン番号:1-3069-31,1-3069-32,1-4469-01,1-4469-02