マスフローコントローラ (ガス-継手:H2-SW・流量:1000ccm) SEC-E40MK3-1LM 2-755-04

HORIBA

販売価格 ¥98,505 通常価格 ¥109,450

【 税込 】
【特徴】
・流量設定値まで1秒以内(T98)の高速応答の流量計です。
・高信頼性のサーマルセンサーやソレノイドバルブを搭載しています。
・オートゼロアジャスト機能を搭載しています。


【仕様】
・本体サイズ:127×32×126mm
・流量精度:±1%F.S.(精度保証範囲:15~35℃)
・応答速度:1秒以内(T98)
・流量制御範囲:2~100%F.S.
・継手:1/4Swagelok相当
・フルスケール流量(CCM):1000
・ガス-継手:H2-SW
・型番:SEC-E40MK3-1LM
※別売の電源一体型制御ユニットと接続ケーブルを合わせてご使用ください。

アズワン番号:2-755-04

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