マスフローコントローラー 1SLM-Air C1005 3-5070-01

アズワン

販売価格 ¥84,447 通常価格 ¥93,830

【 税込 】
【特徴】
・熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。
・スタート時のフローサージ現象を抑制します。


【仕様】
・型番:C1005
・フルスケール流量-ガス種:1SLM-Air
・ガス種類:Air
・流量精度:±2%FS(精度保証範囲15~35℃)
・応答性:6sec
・流量制御範囲:5~100%FS
・入出力:アナログ信号(0~5VDC)
・バルブ形式:N/Oノーマルオープン
・再現性:±0.2%FS
・動作圧力範囲:50~300kPa
・耐圧:1MPa(G)
・外部リークレート:1×10-7Pa・m3/sec(He)以下
・接ガス部材質:SUS316、PTFE、フッ素ゴム
・接続:1/4in.SWL相当
・電源:+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA
・通信方式:アナログ0~5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)
・サイズ:127×25.5×100mm

アズワン番号:3-5070-01

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