ターボ分子ポンプ排気装置 VPT-060 3-5267-01

アルバック

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【特徴】
・ベース架台内に必要機器をコンパクトに構成しており、クリーンな真空環境に適しています。

【仕様】
・型番:VPT-060
・サイズ(mm):340×340×355
・重量(kg):17
・到達圧力:10^-5Pa台
・メインポンプ:ターボ分子ポンプ(空冷式) 60L/sec
・補助ポンプ:ダイアフラム型ドライ真空ポンプ 20L/min
・所要電気量:単相100V 0.3kVA
・吸気口:ISO63

アズワン番号:3-5267-01