マスフローコントローラ 200~500SCCM RC継手 MC-10RC-4RC1R4A0A0-05 3-5561-05

アズワン

販売価格 ¥126,000 通常価格 ¥138,600

【 税込 】
【特徴】
・ガス種・流量が変更できます(VR機能搭載)。


【仕様】
・型番:MC-10RC-4RC1R4A0A0-05
・仕様:6.35mmRC相当
・流量:200~500SCCM
・流量精度:±1%F.S.(精度補償範囲15℃~35℃)
・応答速度:1秒以内(T98)
・流量制御範囲:2~100%F.S.
・継手:1/4(面間125mm)
・本体サイズ:127.4×38×130mm

アズワン番号:3-5561-05

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