【特徴】
・マスフローコントローラー・制御電源・バルブ・逆止弁・ガスミキサーをオールインワンにしたユニットタイプです。
・2種類の各ガスを流量制御し混合ガスを供給します。
【仕様】
・ガス種類：2
・サイズ（mm）：315×298×250
・対応ガス：Air・N2・Ar・He・H2・CO2・O2
・流量制御範囲：各ガスF.S.10SCCM～20SLM（但し、各ガスの合計流量が50SLM以下のこと）
・流量設定：10回転ポテンションメーターにて可変
・流量設定/出力表示：スケーリング表示
・設定/出力表示切替：トグルスイッチ
・IN・OUTLETバルブ：ボールバルブ
・接ガス部材質：ステンレス（SUS316）、PTFE（四フッ化エチレン樹脂）、フッ素ゴム
・継手：1/4in.SWL相当
・外部リーク：5×10^-7Pa・m3/sec He
・入力電源：AC100V
・使用環境：温度／5～50℃（精度保証範囲：15～35℃）、湿度／30～80％（結露なし）
・付属品：ACケーブル（2m）
※ご注文・お見積り依頼時は、使用ガス種・流量をご連絡ください。
アズワン番号：3-6835-01
・マスフローコントローラー・制御電源・バルブ・逆止弁・ガスミキサーをオールインワンにしたユニットタイプです。
・2種類の各ガスを流量制御し混合ガスを供給します。
【仕様】
・ガス種類：2
・サイズ（mm）：315×298×250
・対応ガス：Air・N2・Ar・He・H2・CO2・O2
・流量制御範囲：各ガスF.S.10SCCM～20SLM（但し、各ガスの合計流量が50SLM以下のこと）
・流量設定：10回転ポテンションメーターにて可変
・流量設定/出力表示：スケーリング表示
・設定/出力表示切替：トグルスイッチ
・IN・OUTLETバルブ：ボールバルブ
・接ガス部材質：ステンレス（SUS316）、PTFE（四フッ化エチレン樹脂）、フッ素ゴム
・継手：1/4in.SWL相当
・外部リーク：5×10^-7Pa・m3/sec He
・入力電源：AC100V
・使用環境：温度／5～50℃（精度保証範囲：15～35℃）、湿度／30～80％（結露なし）
・付属品：ACケーブル（2m）
※ご注文・お見積り依頼時は、使用ガス種・流量をご連絡ください。
アズワン番号：3-6835-01