マスフローコントローラー 20SLM He C1020-4S2-20L-He 3-6947-04

アズワン

販売価格 ¥120,000 通常価格 ¥132,000

【 税込 】
【特徴】
・熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。
・スタート時のフローサージ現象を抑制します(30秒以上のインターバルが必要)。


【仕様】
・型番:C1020-4S2-20L-He
・流量(SLM):20
・ガス:He
・流量精度:±2%FS(精度保証範囲15~35℃)
・再現性:±0.2%FS
・流量制御範囲:5~100%FS
・流体:気体
・使用可能温度:5~50℃ 85%RH以下
・応答性:6sec
・動作圧力範囲:50~300kPa
・耐圧:1MPa(G)
・外部リークレート:1×10-7Pa・m3/sec(He)以下
・接ガス部材質:SUS316・PTFE・フッ素ゴム
・表面処理:機械加工仕上げ
・継手:1/4in.SWL相当
・入出力:アナログ信号(0~5VDC)
・バルブ形式:N/O ノーマルオープン
・駆動電源:+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA
・通信方式:アナログ0~5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)
・サイズ:160×33.6×105mm

アズワン番号:3-6947-04

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