【仕様】
・接続フランジ：CF114FH-CF70FT
・動作範囲：XY方向/±5mm、角度/0～5°（角度調節付きのみ）
・駆動方式：手動
・使用圧力範囲：高真空（1×10^-6Pa）～大気圧
・ヘリウムリーク量：1.0×10^-9Pa・m3/s
・ベーキング温度：150℃以下
アズワン番号：3-753-02
・接続フランジ：CF114FH-CF70FT
・動作範囲：XY方向/±5mm、角度/0～5°（角度調節付きのみ）
・駆動方式：手動
・使用圧力範囲：高真空（1×10^-6Pa）～大気圧
・ヘリウムリーク量：1.0×10^-9Pa・m3/s
・ベーキング温度：150℃以下
アズワン番号：3-753-02