【仕様】
・型番：IF65
・圧力条件：内部／真空、外部／大気圧
・温度条件：20℃（ベーキング時最大250℃）
・材質：ベローズ／ステンレス（SUS316L）、フランジ／ステンレス（SUS304）
・作動条件：軸方向変位のみ
・リーク量：1×10^-7Pa・m3/s以下
・繰り返し寿命：1万回
・フランジ形状：JIS B2290（フランジA／VG、フランジB／VF）
・サイズ表（単位：mm）
・Ｂｉ：61.9
・Ｂｏ：80
・L：90
・Ｄ：145
・Ｔ：10
・Ｃ：120
・取付穴：4-12
・L作動範囲：83～128
・バネ定数（N/mm）：3.6
・有効面積（cm2）：39.5
アズワン番号：3-8087-05
・型番：IF65
・圧力条件：内部／真空、外部／大気圧
・温度条件：20℃（ベーキング時最大250℃）
・材質：ベローズ／ステンレス（SUS316L）、フランジ／ステンレス（SUS304）
・作動条件：軸方向変位のみ
・リーク量：1×10^-7Pa・m3/s以下
・繰り返し寿命：1万回
・フランジ形状：JIS B2290（フランジA／VG、フランジB／VF）
・サイズ表（単位：mm）
・Ｂｉ：61.9
・Ｂｏ：80
・L：90
・Ｄ：145
・Ｔ：10
・Ｃ：120
・取付穴：4-12
・L作動範囲：83～128
・バネ定数（N/mm）：3.6
・有効面積（cm2）：39.5
アズワン番号：3-8087-05