【仕様】
・型番：PF63
・圧力条件：内部／真空、外部／大気圧
・温度条件：20℃（ベーキング時最大250℃）
・材質：ベローズ／ステンレス（SUS316L）、フランジ／ステンレス（SUS316）
・リーク量：1×10^-9Pa・m3/s以下
・繰り返し寿命：1万回
・フランジ形状：端管
・サイズ表（単位：mm）
・Ｂｉ：76.3
・Ｂｏ：92
・L：85
・Ｄ：76.3
・ｔ１：3
・Ｔ：20
・Lの動作範囲：108～142
・バネ定数（N/mm）：7.6
・有効面積（cm2）：55.6
アズワン番号：3-8155-06
・型番：PF63
・圧力条件：内部／真空、外部／大気圧
・温度条件：20℃（ベーキング時最大250℃）
・材質：ベローズ／ステンレス（SUS316L）、フランジ／ステンレス（SUS316）
・リーク量：1×10^-9Pa・m3/s以下
・繰り返し寿命：1万回
・フランジ形状：端管
・サイズ表（単位：mm）
・Ｂｉ：76.3
・Ｂｏ：92
・L：85
・Ｄ：76.3
・ｔ１：3
・Ｔ：20
・Lの動作範囲：108～142
・バネ定数（N/mm）：7.6
・有効面積（cm2）：55.6
アズワン番号：3-8155-06