HORIBA LabRAM HR-PL 顕微フォトルミネッセンス測定装置

HORIBA

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製品名
顕微フォトルミネッセンス測定装置
LabRAM HR-PL
概算価格:¥27,500,000~


【商品概要】

非破壊、非接触による、化合物半導体(ワイドギャップ半導体からナローギャップ半導体まで)の組成評価、欠陥評価、
量子井戸の評価、不純物評価、結晶性評価が行えます。


【特徴】

・2,3,4インチのウエハの高速マッピングに対応
・CCDとInGaAs検出器の2台搭載により、紫外~近赤外(200~2100nm)に対応
・化合物半導体のマッピング測定を高速、高精度、高再現性で実現
・ラマン測定にも対応
・高空間分解能


新機能高速マッピング

マッピング速度を飛躍的に向上させた高速マッピング機能を開発しました。
従来からの優れた光学性能を維持し、短時間でウエハ全体の情報が得られます。
さらに、高倍率の対物レンズを使用することで微小領域を高空間分解能でマッピングすることも可能です。

<高速マッピングの測定例>
・ピーク波長マッピング
・半値幅マッピング
・ピーク強度マッピング
・積分強度マッピング
・任意の波長での強度マッピング
・フィッティングによるピーク分離
従来からの高い波数分解能と優れた波長精度を維持した高速マッピング測定が可能になりました。


<測定時間>

3インチウエハ 2インチウエハ
測定ピッチ データ数 測定時間 データ数 測定時間
0.5mm 23409 7分10秒 11025 3分20秒
1mm 5929 3分0秒 2809 1分30秒
2mm 1521 1分28秒 729 48秒


シングルチャンネル検出器オートレンジ機能

シングルチャンネル測定では、オートレンジ機能があり、広いダイナミックレンジでの測定が可能です。


シングルチャンネル検出器(NIR)

アレイ検出器だけでなく、PbSやMCT等のシングルチャンネル検出器の搭載も可能
NIR領域だけでなく、より広い波長範囲の測定にも対応可能です。


PL強度を利用したオートフォーカス機能

実際のPL信号で、Z軸を駆動し、ある波長のピーク強度最大となるフォーカス位置でのPL測定が可能。また、その位置から、任意にフォーカスを移動させた位置での測定も行えます。
ピエゾを使用した、オートフォーカス機構もオプションで搭載可能です。


豊富な低温測定オプション

クローズドサイクル冷凍機
(最大2インチウエハ対応)
2インチサイズのウエハがそのまま取付、冷却可能
(高倍率対物レンズでの測定はできません。)
超低振動クローズドサイクル
クライオスタット
超低振動を実現:±0.5μ
最低到達温度:6K以下
輻射シールド開口φ30mm×1(試料部内臓センサーにて)
クールダウン時間:約2時間(約室到達温度(10K近辺))
低振動クローズドサイクル
クライオスタット
到達温度:10K以下(試料ホルダー部)
冷凍機とアイソレートされた試料部の採用で、
±5μ以下の低振動
低振動パルス式
クライオスタット
パルス管方式で、±2μ以下の低振動(冷却ステージ部)
最低到達温度:3K以下(冷凍機単体、無負荷時)
市販の大半のフロータイプ顕微鏡用クライオスタットに対応


【仕様】

・ツェルニターナ型分光器(焦点距離800mm)
・波長範囲:200~2100nm
・波長分解能:0.03nm(at 400nm)
・最大300mmのステージに対応