HORIBA Photoluminorシリーズ フォトルミネッセンス測定装置

HORIBA

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【特徴】

・iHR320ベース マクロPL測定/FHR1000ベース 極低温 PL測定
・豊富な分光器とグレーティングのリストから、高感度から高分解能までご要望に合わせた選択が可能
・測定波長域に合わせた最適な光学設計により高いスループットを実現
・測定目的に応じてマクロ測定、顕微測定、ファイバー測定、クライオスタットを利用した極低温測定に対応
・既にお持ちのレーザーを利用しての設計も可能
・オプションの高速マッピング測定機能により2インチ、3インチ、4インチのウエハを短時間で測定

【仕様】

・レーザ/分光器/検出器/光学系/測定部/制御部で構成
・波長範囲:200~2700nm
・分光器:140~1250mm
・マクロ測定/顕微鏡測定対応
・極低温測定対応