HORIBA Photoluminor-D シリコン中不純物測定 フォトルミネッセンス測定装置

【商品概要】

フォトルミナーDはシリコン中の微量不純物分析用途を目的として開発されました。
シリコンは最もよく使用されている半導体です。
フォトルミネッセンス法は品質管理に応用すぺく長年研究が行われてきました。
1977年電子技術総合研究所の田島博士(現在：宇宙科学研究所)はシリコン中の不純物定量分析をフォトルミネッセンス法で
評価する方法を開発されました。
この方法によりシリコン中のB,P,Al,As 不純物がpptaオ一ダーで解析出来るようになりました。
PL法によるシリコン中の不純物定量分析は、現在ではASTMとJISに登録されています。

【特徴】

・シリコン中不純物（B、P、Al、As）の高感度定量分析が可能
・試料はインゴットから切り出されたウエハからさらにペレット状にし、化学・機械研磨した上で測定
・最大試料取り付け枚数は32枚（試料サイズに依存）

【仕様】

・分光器焦点距離：1000nm
・グレーティング：1200gr/mm
・レーザ波長：YAG532nm
・InGaAs検出器
・4.2kクライオスタット使用
・検出限界：
　上限 5×10¹⁵atm/cm³（理論値）（B、P、Al、As）
　下限 2×10¹⁰atm/cm³（理論値）（B、P）
　下限 5×10¹⁰atm/cm³（理論値）（Al、As）