HORIBA Smart SE 薄膜計測装置

HORIBA

お見積商品

製品名
薄膜計測装置
Smart SE
概算価格:¥13,000,000~

【商品概要】

・プッシュボタン感覚で、1nm~15μmの膜厚範囲の単層膜から多層膜までのサンプル測定が可能です。
・波長450nm-1000nmをカバーしたデータ採取により、薄膜の膜厚、光学定数(屈折率、消衰係数)などの物質特性を
 精度良く測定します。
・誘電体や有機薄膜など様々な材料の測定が可能です。
・イメージングシステム“MyAutoViewTM”を搭載し、サンプル表面状態や測定スポットの厳密な位置確認が可能です。


【特徴】

・簡単操作を実現した日本語ソフトウェアを搭載、
 プッシュボタン感覚で、測定からレポートまでを完全自動化
・電動で可変する7種類のマイクロスポットを標準搭載
・微小な領域の測定が可能
・CCD検出器による高速測定
・試料ビジョンシステム"MyAutoView"により、様々な表面やパターンを有する薄膜材料の試料表面および測定スポット位置
を観察でき、容易に測定位置を決定。
 さらに表面の汚れやコンタミを避けた位置での測定が可能
・場所を取らないコンパクトサイズ
・多彩なオプションで仕様を自由に選択・性能を拡張

【仕様】

波長範囲 450~1000nm
測定膜厚範囲 1nm~15μm
※膜種や構造によって異なる
スポット径 500μm角、150μm角、75×150μm角 他(at 70°)
ステージ 固定、高さ17mm手動可変
入射角度 70°固定(45~90°、5°刻みで手動変更可能)
オプション 電動ゴニオメータ(可変範囲:45度-90度)
In-situ測定用アダプタ
電動XYステージ(200mm,300mmウエハ対応)