製品名 |
クーリングポンプ CH-802W 概算価格(税込):¥1,430,000 |
小型CHシリーズ水冷、200V電源用。モデルチェンジしインバータ冷凍機を採用。冷却能力・温度精度が向上、かつ省エネに。
信号出力や外部温度センサーに対応。
・クリーンルームにも最適な水冷式一体型
・インバータ冷凍機を採用、冷却能力向上かつ省エネ
・高温冷却が可能、外部温度センサー対応
小型シリーズ唯一の水冷式。
モデルチェンジして冷却能力・温度精度が向上、さらに省エネに。
インバータ冷凍機を採用。旧機種CH-802BFと比べ
・冷却能力が約1.9kW→約2.5k
・温度精度が±0.5℃→±0.1℃~0.5℃(負荷安定時)
・消費電力最大60%OFF
となりました。
また、操作パネルに緊急停止ボタンを追加し、より安全性を高めています。
型名 | 冷却能力 | 運転電流 |
CH-802W | 約2.5kW(30%以上能力up) | 9A(消費電力は最大60%OFF) |
CH-802BF | 約1.9kW | 12A |
【用途】
・半導体部品の加工ステージの温度管理
・高い冷却能力や温度安定までのスピードが要求されるような用途に最適
【仕様】
型名 | CH-802W |
使用温度範囲 | -10℃~+80℃ |
使用環境温度範囲 | -10℃~+35℃(結露なきこと) |
温度調節精度※1 | ±0.1~0.5℃ |
冷凍機(空冷式)出力/冷媒 | 750W、R407C |
冷却能力(50Hz時)※2 | 約2.5kW(P-320搭載時) |
ヒーター出力 | 2.25kW |
温度設定/表示 | デジタル式(表示単位:0.1℃) |
安全器/安全機能 | 漏電/過電流ブレーカー、緊急停止、高低温、液補充警報、空焚き防止、反相リレー、装置異常停止(ポンプサーマル/冷凍機異常/高圧圧力異常) |
その他の機能 | リモート温度設定、Modbus RS-485、安全器作動信号出力、外部温度センサー接続※3 |
水槽容量(80%水位)※4 | 約26L |
適用ポンプユニット※5 | P-320、P-420、P-520 |
所要一次冷却水量 | +20℃の冷却水:8L/min、+30℃の冷却水:18L/min |
一次冷却水接続口径 | Rc1/2 |
外形寸法(ポンプ含まず) | 407×714×766Hmm |
本体質量(ポンプ含まず) | 約81kg |
電源(ポンプ含まず) | 三相AC200V・50/60Hz・15A |
運転電流(ポンプ含まず) | 9A |
標準付属品 | 排水用ゴムホース、信号用コネクター、電源コード(コネクター付属) |
※2:清水を使用し循環液温が+10℃、ポンプユニットP-320搭載時の能力です。搭載ポンプユニットによって冷却能力は変動します。
なお、一次冷却水の供給が所定値を下回ると冷却能力が低下します。
※3:外部温度センサーは別売です(Φ4×250mm、¥19,800)
※4:密閉構造でないため、設定温度・熱媒体の種類によっては使用液の蒸発・減量があります。
※循環液にガルデンは使用できません。
・本体用の固定金具を別売で用意しております。