フッ素系熱媒体専用、温度の加熱コントロールに特化した高温循環装置です。
【特徴】・幅広い高温域で正確な加熱温度コントロール
・インバーター制御、液漏れの心配がないポンプ
・冷却水を循環することにより短時間で降温可能
加熱温度コントロール専用の循環装置
フッ素系熱媒体（GALDEN HT270またはHT200）専用の設計により、＋70℃～＋200℃の幅広い高温域での正確な加熱温度コントロールが可能です。
本製品は冷却用途には使用できませんので、ご注意ください。
メンテナンスなどのために短時間で装置温度を下げる機構
内部構造に触れる必要があるメンテナンスなどの場合に短時間で温度を下げるため、冷却コイルに冷却水を循環することが可能です。
例えば＋20℃の冷却水を流した場合、＋200℃から＋70℃まで下げるのに要する時間は約25分です。
【用途】
・半導体製造装置などの加熱温度コントロール
【仕様】
| 型名 | TEX-25A | |
| 使用温度範囲 | ＋70℃～＋200℃ | |
| 温度調節精度※1 | PID制御、±0.5℃以内 | |
| ヒーター出力 | 2.5Kw | |
| ポンプ能力 | 流量 | 14L/min（0.2MPa、循環液温＋150℃） |
| モーター出力 | 1.1kW | |
| 昇温/降温時間※2 | 昇温時間（＋70℃→200℃）：約30分（冷却水OFF） 降温時間（＋200℃→＋70℃）：約25分（冷却水ON）、冷却水条件：約8L/min at20℃ |
|
| 安全器/安全機能 | 漏電ブレーカー、高温、温度異常、ポンプ異常、液面低下、液面上限、液補充警告 | |
| 入出力機能 | 温度モニター出力、リモート温度設定入力、リモートON/OFF信号入力、リモートリセット信号入力、安全器作動信号外部出力 | |
| 適用熱媒体（循環液） | GALDEN HT270またはHT200（ただし混入不可） | |
| 循環液タンク容量 | 約3L（＋リザーブタンク約7L） | |
| 配管接続口径 | 循環液出入口：Rc1/2、一次冷却水出入口：Rc1/2 | |
| 外形寸法/本体質量 | 406×761×924Hmm、約115kg | |
| 電源（三相AC200V・50/60Hz） | 15A | |
| 運転電流 | 12A | |
| 標準付属品 | 信号用コネクター、電源コネクター | |
※2：装置単体で無負荷の場合です。
・本製品の使用環境温度範囲は、＋7℃～＋35℃です。
・冷却機能を追加した場合は、所要量の一次冷却水が必要となります。冷却能力は冷却水の条件（水温、流量）に依存します。