【特徴】
・安定性に優れた高速巻線センサーと小型比例ソレノイドバルブを採用し、コンパクトでありながら通信機能を標準装備(RS485)、高精度・高速応答を実現したデジタルマスフローデバイスです。
・高速応答で優れたゼロ点安定性。
・入出力信号は0-5V、電源は±15Vです。
・電源コネクタには汎用性の高いD-sub9ビンコネクタを採用しました。
・ロータリースイッチを切り替えることで、本体に登録されているガス種が使用可能。
・RoHS・CE規格対応。
・リードアウトユニットはマスフローコントローラ、マスフローメータとケーブルで接続することで、流量の計測・制御といったマスフローの基本機能や、流量積算機能、流量イベント出力機能が使用可能になるユニットです。
【仕様】
・型式：EX-250S-C
・電源電圧：±15V
・継手：1/4F900(126.6mm)
・流体：N2
・F.S.流量：500SCCM
・校正温度：20℃
・入力信号：電圧入力
・出力信号：電圧出力
・使用圧力：150～300kPa
・センサー方式：熱式巻線センサー
・バルブ方式：比例ソレノイドバルブ(非通電時 閉)
・対象ガス：N2
・流量レンジ：500SCCM
・制御範囲：2～100%(F.S.)
・応答性：全流量制御範囲 1sec以内(within±2%F.S.)、150kPa~300kPa
・精度：±1.0%F.S.
・再現性：±0.2%F.S.
・動作差圧：50～300kPa
・入口最大圧：500kPa(G)
・耐圧：980kPa(G)
・Heリークレート：1×10-8Pa・m3/sec以下
・許容周囲温度：5～50℃
・精度保証温度：15～35℃
・許容保存温度：-10～60℃
・許容周囲湿度：10～90%RH(但し結露なきこと)
・接ガス部材：SUS316、SUS316L、磁性ステンレス(コントローラのみ)、PTFE、FKM
・電気接続：DsubピンKFC Standard(SEMI standard 準拠)HR-10A
・流量設定入力信号：0～5VDC(入力インピーダンス約1MΩ)
・流量出力信号：0～5VDC(負荷抵抗 10k Ω以上)
・デジタル信号：RS485ロータリースイッチによるアドレス設定
・所要電源(DC)：+15VDC(±5%)100mA以下、-15VDC(±5%)150mA以下or+24VDC(±10%)180mA以下
・取付姿勢：水平方向推奨
・重量：約500g
・入数：1個
東京硝子器械コード：299-56-23-43
・安定性に優れた高速巻線センサーと小型比例ソレノイドバルブを採用し、コンパクトでありながら通信機能を標準装備(RS485)、高精度・高速応答を実現したデジタルマスフローデバイスです。
・高速応答で優れたゼロ点安定性。
・入出力信号は0-5V、電源は±15Vです。
・電源コネクタには汎用性の高いD-sub9ビンコネクタを採用しました。
・ロータリースイッチを切り替えることで、本体に登録されているガス種が使用可能。
・RoHS・CE規格対応。
・リードアウトユニットはマスフローコントローラ、マスフローメータとケーブルで接続することで、流量の計測・制御といったマスフローの基本機能や、流量積算機能、流量イベント出力機能が使用可能になるユニットです。
【仕様】
・型式：EX-250S-C
・電源電圧：±15V
・継手：1/4F900(126.6mm)
・流体：N2
・F.S.流量：500SCCM
・校正温度：20℃
・入力信号：電圧入力
・出力信号：電圧出力
・使用圧力：150～300kPa
・センサー方式：熱式巻線センサー
・バルブ方式：比例ソレノイドバルブ(非通電時 閉)
・対象ガス：N2
・流量レンジ：500SCCM
・制御範囲：2～100%(F.S.)
・応答性：全流量制御範囲 1sec以内(within±2%F.S.)、150kPa~300kPa
・精度：±1.0%F.S.
・再現性：±0.2%F.S.
・動作差圧：50～300kPa
・入口最大圧：500kPa(G)
・耐圧：980kPa(G)
・Heリークレート：1×10-8Pa・m3/sec以下
・許容周囲温度：5～50℃
・精度保証温度：15～35℃
・許容保存温度：-10～60℃
・許容周囲湿度：10～90%RH(但し結露なきこと)
・接ガス部材：SUS316、SUS316L、磁性ステンレス(コントローラのみ)、PTFE、FKM
・電気接続：DsubピンKFC Standard(SEMI standard 準拠)HR-10A
・流量設定入力信号：0～5VDC(入力インピーダンス約1MΩ)
・流量出力信号：0～5VDC(負荷抵抗 10k Ω以上)
・デジタル信号：RS485ロータリースイッチによるアドレス設定
・所要電源(DC)：+15VDC(±5%)100mA以下、-15VDC(±5%)150mA以下or+24VDC(±10%)180mA以下
・取付姿勢：水平方向推奨
・重量：約500g
・入数：1個
東京硝子器械コード：299-56-23-43