【概要】
高精度の結果を迅速かつ効率的に得ることができます。
コンパクトな Thermo Scientific K-Alpha システムは、高いサンプルスループットと先進的な機能により、ルーチン分析と研究分析において XPS の必要要件を満たします。
K-Alpha は、Thermo Scientific Avantage データシステムの案内に従って直感的に操作できるため、マルチユーザー施設に最適なシステムです。
【特徴】
- 最小限の労力で最大限の成果を達成できます。
- Thermo Scientific K-Alpha X 線光電子分光システム (XPS) は、デプスプロファイリング機能を備えたモノクロ微少スポット XPS システムです。
- 最高の性能、低ランニングコスト、使いやすさの向上、およびコンパクトサイズにより、K-Alpha XPS システムはマルチユーザー環境に最適です。
従来の K-Alpha XPS システムを土台とした K-Alpha 分光装置は、分析性能が大幅に向上しています。この性能向上により、分析時間が短縮され、元素検出能力が向上しました。また、より高い分解能でデータを取得でき、化学状態の同定が容易になります。
分析オプションには、グローブボックスからシステムへ空気高感度サンプルを移送するための真空搬送モジュール、ARXPS用試料傾斜ホルダーなどがあります。K-Alpha にはThermo Scientific Avantage データシステムが装備されえており、データ解析、レポート作成、および使いやすさを最適化するように設計されたさまざまな機能があります。K-Alpha XPS システムは、分析者の習熟度によらず、高性能、モノクロ XPS、スパッタデプスプロファイリングと、インテリジェント自動化および直感的に操作できるコントロールとを同時に実現しています。
●高性能
- 領域選択可能分析
- スパッタデプスプロファイリング
- マイクロフォーカス型モノクロメーター
- スナップショット測定
- 高分解能化学状態分析
- 絶縁物分析
- 定量化学状態イメージング
- 取得 － スペクトル、イメージ、プロファイル、ラインスキャン
- 解析 － 元素および化学状態の特定
- データ処理 － 定量、ピークフィッティング、リアルタイムプロファイル表示、スペクトルイメージ操作、PCA、相分析、TFA、NLLSF、PSF 除去、光学/XPSイメージオーバーレイ
- レポート作成 － 他のソフトウェアパッケージへの単純なエクスポートによる自動レポート生成
- コントロール － Avantage ソフトウェアからすべてのハードウェアをコントロール
- Avantage インデクサー － データアーカイブ管理
- 装置状態のロギング
- システム性能ロギング
- オンデマンド較正
- 完全リモート操作
- アナライザー － 128 チャネル検出器を備えた 180° 二重収束型半球型
- X 線源 － さまざまなスポットサイズ (50 - 400 μm、5 μm 単位) の Al Ka マイクロフォーカスモノクロメーター
- イオン銃 － エネルギー範囲 200 - 4000 eV
- 電荷中和 － デュアルビーム源
- サンプル操作 － 4 軸サンプルステージ、60 x 60 mm サンプル領域、20 mm 最大サンプル厚
- 真空システム － エントリーチャンバーおよび分析チャンバー用 220L/s ターボ分子ポンプ
- オプション －真空搬送モジュール、ARXPS 用傾斜試料ホルダー、仕事関数測定用試料ホルダー。